二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM #9109574 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM是一种先进的多功能化学气相沉积（CVD）反应器，提供更高的速度、吞吐量和效率水平。它是为高密度材料的应用而设计的，如铜、红、铝，并包括了多项功能，以确保沉积条件的精确控制。该反应堆采用独特的载流子设计，采用双速高速拟合气体分流器、线性扫描级以及可调节的直接液体冷却机构，以确保优越的温度均匀性。直接液体冷却机制允许快速过程冷却，并防止对基板的热损伤。CONCEPT 2 Speed DLCM也有半透性磁场阻止层，限制氧气和其他气体进入沉积区。这一特性使沉积速率和均匀性得到更好的控制。Novello NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM还设有两级微波等离子体放电系统，可对电离和沉积参数进行精确控制。线性扫描阶段可快速准确地扫描反应性气体，同时减少气相噪声和气体溷合。CONCEPT 2速度DLCM易于使用,具有多种功能,可用于精确的沉积控制。用户界面设计简单直观，带有触摸屏控件和大型图形液晶显示屏，便于监测沉积参数。过程参数，包括气流、温度、压力和微波频率都可以实时调整，提供了对沉积参数的高度控制。最后,NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM利用先进的安全功能进行安全一致的操作。它采用互锁电路设计，在检测到意外情况时停止过程反应。此外，反应堆采用先进的颗粒监测过滤系统，提高了沉积过程的安全性和质量。总体而言，CONCEPT 2 Speed DLCM是一种高性能沉积反应器，旨在使高密度材料的沉积速度和精度成为可能。这种反应堆是工艺工程师、研究科学家和学术实验室的理想选择，因为它具有可靠的安全特性，能够很好地控制沉积参数。