二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed-S #9206613 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed-S Reactor是一种化学气相沉积（CVD）工具，用于在工件表面施加非常薄的材料层。这种CVD工具可以沉积多种不同的材料，如铝、硅、​​的、和其他准金属，其作用是修改和增强基板的表面特性。Speed-S反应堆对沉积层的纳米级厚度和化学成分提供无与伦比的控制。该反应器在反应室中保持超高真空环境，以实现最高质量的薄膜沉积，并确保该工艺以最小杂质运行。Speed-S Reactor的设计效率极高，在整个基板表面提供均匀的薄膜分布，同时消除任何沉积缺陷。这是通过结合先进的技术来实现的，例如其获得专利的GasFlow-3设备能够精确控制工艺气体的流动，以及在整个沉积过程中不断清洁工件表面的Brush-Lift系统。Speed-S Reactor还能够通过其玻璃自旋特性提供可重复的有机物质层，如聚合物，使量身定制的薄膜易于生产。该装置的易燃残余气体管理机器（FRGMS）确保安全和符合政府规定，而反应堆的"ActivePlay"技术允许从非接触式远程位置远程监测和控制Speed-S反应堆。Speed-S Reactor能够在整个基板区域可靠地生产出厚度均匀的可重复、均匀、非常薄的薄膜，从而增强了表面特性，提高了耐腐蚀性。沉积过程利用高温、高精度的烤箱，可以沉积各种薄膜厚度的材料，从数千埃到数百微米。Speed-S Reactor的设计容易融入现有生产线，并与多种自动流程兼容。该工具还具有一个"SmartLink"，允许即时优化流程，使用AI驱动算法实时调整流程参数。这使得Speed-S Reactor非常适合汽车、航空航天和电子等精密行业。Speed-S Reactor提供长期的可靠性、低成本的维护和易于操作，使其成为介电膜、原子层沉积、光伏层等应用的首选。