二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel #172487 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel是NOVELLUS最新加入的Concept 2 Speed系列反应堆之一。它以先进的半导体制造部门为目标，使晶圆工艺能力升级变得简单、经济高效。CONCEPT 2 Speed Sequel旨在为用户提供比传统单晶圆刀具体系结构更高的吞吐量速率,同时即使在非常高的晶圆速度下也能提供卓越的控制和可重复的过程性能。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel建立在原始Concept 2 Speed工具的能力之上，提供两个截然不同的过程控制级别。这包括高分辨率层成像、实时腔室管理以及对各种先进材料过程的严密过程监控。该反应堆建立在Concept 2 Speed架构之上，设有UV光辅助CVD （PECVD）工艺室和气体输送设备。它能够精确控制整个晶片表面的薄膜厚度均匀性，并在高晶片速度下提供优异的生产产量。CONCEPT 2 Speed Sequel的独特设计为系统配备了高效的气体屏蔽技术，为防止侧壁氧化和过程等离子体耦合提供了出色的保护。该反应堆还具有先进的控制器单元，可以很容易地编程，以完成复杂的多步骤过程，最小的努力。先进的控制机器可以预先设定用户定义的参数，并且该工具能够以极高的精确度、重复性和产量来执行配方。为了提供进一步的灵活性，NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel具有现场监测和分析能力，能够实时监测反应堆环境和晶圆过程。这有助于确保跨不同晶片的过程一致,并防止过程变化。最后，CONCEPT 2 Speed Sequel是一种高效可靠的反应器，旨在满足先进半导体生产的需求。它能够为用户提供高水平的灵活性、过程控制和可重复性,以及提高的吞吐量和优异的产量。