二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Shrink #9294359 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Shrink是一种用于半导体及相关制造业的高速、高性能物理气相沉积（PVD）反应器。它能够沉积用于互连、设备制造和设备保护的多层薄膜。Concept 2反应堆是一种光学和机械上先进的"浮动"腔室设计，利用超刚性动态腔室组件减少振动，最大限度地提高通量。概念2使用了先进的PVD膜沉积设备，允许铝、钨和铜膜沉积在一个工具中。操作员能够设定沉积速率、目标厚度和层组成，允许可重复和可靠的薄膜。此外，概念2可以生产广泛的薄膜，如氧化物、氮化物和金属硅化物。为了提高薄膜均匀性，概念2采用了先进的线圈耦合磁控管系统。这个单元利用两个磁控管，一个产生溅射等离子体，另一个中和室内的电子，产生低粒子生成的均匀薄膜。此外,Concept 2还利用高级内部流程控制来进行配方调整和流程优化。概念2设计采用红外激光研磨机,可实现较好的基板对准.这种工具可以精确地调整晶片的表面拖曳10 μ米的设计平面。该资产还具有先进的晶圆餐饮能力，允许在一个进程运行中堆放多达10个不同的薄膜。可以根据沉积的特定薄膜调整工艺参数，从而产生可重复的厚度和组成。在安全特性方面，NOVELLUS Concept 2的特点是当控制模型发现有危险的压力积聚时，它会关闭腔室气体。此外，该设备还具有积极进取的洗涤器系统，以确保潜在有害颗粒的安全排放水平。此外，工艺气体可以在不同的分支中隔离和监测，以便于维护。总体而言，CONCEPT 2 Speed Shrink Reactor是一种先进的PVD工具，能够沉积多层膜，具有极好的均匀性和可重复性。它是半导体及相关制造业的关键工具，因为它能够生产具有卓越安全特性的高性能薄膜。