二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #293600182 待售
网址复制成功！
单击可缩放
NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一种先进的化学机械平面化（CMP）反应器，设计用于在超大型集成（VLSI）半导体材料上沉积薄膜。它是一种高性能、基于浆料的CMP设备，用于化学机械抛光、化学气相沉积（CVD）和溅射以及使用不同的专用浆料配方。CONCEPT 2 Speed使用电喷雾静态溷合技术进行自动化的高性能抛光,以最高的速度、效率和可重复性实现更好的薄膜平面化。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor提供了广泛的功能。它为制作单层膜和多层膜提供了一条全面的路径。它提供高精度的过程控制，由先进的运动控制系统和温度控制启用。反应堆还提供自动化功能，如跟踪工艺参数以进行微调工艺优化，以及实时监测工艺和工艺相关诊断。CONCEPT 2 Speed Reactor附有一个大功率负载锁模块、晶圆载体，以及在沉积过程中控制大气的层流柜。它有一个特殊的运动控制单元，提供双轨抛光性能，并为每个晶片优化访问时间，以确保尽可能高的速度、效率和可重复性。浆料板独特的设计和功能允许多种浆料配方和各种晶圆尺寸。精密运动级控制还提供了精确的晶片放置，在抛光垫上有居中和均匀的磨损分布。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed手动模式提供过程参数的实时屏幕显示，反应堆允许对每个配方的过程周期进行完全定制。还可以借助连接的计算机远程监视和修改所有参数。此外，CONCEPT 2 Speed Reactor设有尘埃及粒子感应器，以监测室内污染物的存在。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed还提供了一个集成硬度监视器，用于测量抛光过程中所达到的薄膜硬度。还有一个集成的浆液校准和化学监测仪，使得浆液溷合物中的化学浓度一致，而干膜监测仪提高了薄膜层厚度的产量和均匀性。反应堆还提供了一些安全功能，包括泥浆和气体工具的自动关闭、可听和视觉警报、阻燃百叶窗和隔离阀。总体而言，CONCEPT 2 Speed是一种先进的化学机械平面化（CMP）反应器，旨在将薄膜沉积在非常大规模的集成（VLSI）半导体材料上。利用电喷雾静态搅拌技术和各种浆料配方，为单层和多层薄膜的沉积提供了一整套性能最高、效率最高、可重复性的特点。反应堆还配有多种安全特性，确保人员和产品的最高安全水平。
还没有评论