二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9105955 待售
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ID: 9105955
晶圆大小: 8"
System, 8"
System Controller: MC3
Signal Tower: None
AC power rack: Standard
Interconnect cables: Not Available
DLCM
Transfer Robot Type: Brooks MTR 5
Paddle Type: Standard
Shuttle Type: Standard
Cassette Type: Unknown
Indexer Type: Type II
Animatics Type: MEI missing
Cool Station: Missing
SMIF loader type: None
Manometer: Missing
Second manometer in frame: 10 Torr
Facilities Configuration: Either
Control System: QNX4 unknown IOC
Pedestal Lift: Yes, Standard
Turbo Pumps: Missing
Ceramic Dome: Yes, type unknown
Gas Nozzles: Yes, type unknown
ESC: Missing
Temperature Control: Missing
RF Generators
HF RF Generator: NONE
LF Generator: NONE
HF, Cable Length: Missing
LF, Cable Length: Missing
Gas Box Chamber A
Gas Channels: 6
Valves: 6
1 Ar 1000 sccm AERA 7800 CD
2 O2 500 sccm AERA 7800 CD
3 NF3 Manifold E AERA 7800 CD
4 SiH4 500 sccm Unit 1661
5 He 500 sccm AERA 7800 CD
6 Missing
7 H2 500 sccm AERA 7800 CD
8 H2 2000 sccm AERA 7800 CD.
NOVELLUS CONCEPT 2 Speed reactor是用于生产集成电路（IC）的先进半导体制造设备。该系统旨在生产既经济高效又符合最高质量标准的高性能设备。该装置结合了先进的蚀刻、沉积和表面处理技术的独特组合。该机器非常适合生产各种集成电路,包括数字、模拟、射频、光电、MEMS和电源电路。工具的核心是量子共振室（Quantum Resonant Chamber，QRC）。这是一种先进、超高真空、高分辨率的蚀刻资产，能够在各种材料和各种不同的基材上进行精确和可重现的图样。QRC能够产生最困难的几何形状,其特征尺寸小至10 nm。它还能够产生工业上无与伦比的具有平坦度和线缘粗糙度（LER）值的亚微米横向和垂直图桉。QRC由CONCEPT 2速度沉积模块（NDM）补充。该技术平台是专门为高沉积速率和优越的膜均匀性而打造的。该模型能够沉积多种材料，包括多晶硅、金属、氧化物、氮化物和绝缘体。它还可以提供各种特殊的薄膜，并能够制造先进的3D-structures。此外,NDM的设计是为了最大限度地提高吞吐量和最小化晶圆循环时间.为此，NDM能够在四个不同的腔室中同时装卸多达300个晶片。它还能够并行执行多个工作流,并且可以与多个进程控制系统连接。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed旨在满足最严格的无污染物要求，包括低至0.15微米的颗粒污染要求。该设备能够产生大量的特殊成像和蚀刻工艺，如升空、凹槽、SiN蛋白石和深蚀刻。该系统还提供专门的光纤和电子束工艺。总体而言，CONCEPT 2 Speed Reactor是一种先进、高性能、经济高效的制造装置，为生产领先的IC提供了无与伦比的灵活性和准确性。
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