二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146623 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor是一种先进的、用途广泛的化学气相沉积（CVD）工具，用于在大批量制造中创建半导体器件层。它能够处理尺寸达350毫米的基板，包括先进的MPU和高性能的晶体管设计。来自NOVELLUS的CONCEPT 2 Speed Reactor具有灵活的多站架构，允许高吞吐量和低成本的每模具生产。反应堆包括一个双反应堆、双基板处理设备，使大型300和350毫米晶片的前后同时处理成为可能。它还具有一个全面的晶圆处理机制，使处理站之间的快速转移。该反应堆利用先进的沉积工艺，能够处理各种材料，包括硅氧乙烷氢气（HSQ）、多晶硅和硅酸盐玻璃。它旨在提供整个基板的最佳温度均匀性和精确的层厚度控制。该平台利用高压低功率模式，最大限度地减少过热速率的不良影响，并确保可重复沉积结果。它还采用垂直对准器和重新对准器在反应堆腔内进行底物处理和定位。该反应堆包括一个真空系统，能够实现高真空水平并长期保持真空，确保可靠和可重复的CVD工艺。抽水装置装有一个集成捕获机，从腔室中清除颗粒，提供清洁蚀刻处理。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed专为最高可靠性和生产吞吐量而设计。它具有一整套监控、反馈和故障保护功能,可以将平台无缝集成到生产线中。反应堆进一步配备了先进的静电卡盘（ESC）。这些可以在晶片阶段实现精确的晶片夹紧,电压值极低。CONCEPT 2 Speed配备了数据记录工具，可以为用户提供有价值的数据。记录记录的产量、工艺历史、配方开发、缺陷数据等关键参数，有助于产量和吞吐量的优化。最后，NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一种先进的CVD反应器，设计用于高容量、低成本和可重复沉积处理。它配备了全面的晶圆处理和监控系统，能够可靠的下游处理和高吞吐量。该反应堆提供清洁蚀刻工艺，能够加工各种材料，从硅氧基氢到硅酸盐玻璃。