二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146625 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor是一种专门的设备，设计用于提高半导体制造过程的速度，同时提高最终产品的一致性。这一设备用于生产集成电路、内存等精密电子元件等半导体器件。CONCEPT 2 Speed Reactor拥有独特的设计，能够在最佳循环时间内实现尽可能高的晶圆厂速率，同时将污染降至最低。它是一个两区、高温带的扩散室，有独立加热的退火和沉积区。沉积带将基板固定在称为"基板升降机"的两个升降机中的一个升降机上，该升降机将基板提升至高达850 °C的温度范围，从而可以精确沉积所需的金属和材料。退火区包括利用感应炉技术快速旋转和溷合各种金属和其他材料的旋转卡盘。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed反应堆包括一个称为"多系统接口"的专门硬件和软件平台。该界面允许用户控制、监控和调整各种参数，包括温度、气流、压力、湍流等因素。多系统界面还使用户能够调整配方，监控反应过程，并接收反应状态的反馈。除了先进的硬件和软件组件外，CONCEPT 2 Speed Reactor还设有专门的气体输送系统，利用氦气、氙气、氮气、氢气、真空和其他特殊气体优化腔内的扩散和沉积过程。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor因能够达到快速循环时间和高晶圆率，是许多不同製造需求的理想解决方桉。此外，反应堆设计为运行干净，没有颗粒污染硅片和组件。与其他类似反应堆相比，利用较少的原材料和能源来完成相同水平的制造也是高效的。