二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9238452 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一种先进的双处理等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）反应器，旨在提供改进的零件均匀性和提高制造吞吐量。它是目前市场上用于薄膜涂层沉积的最先进的PECVD系统之一。CONCEPT 2 Speed PECVD反应器利用具有射频支撑、非热等离子体的双处理室，创造出一层具有非同质性和性能的均匀涂层。2 Speed系统利用两个交替的工艺室和两个单独的射频发生器,提供了卓越的层精度、均匀性和表面质量,与单室系统相比,可改进薄膜控制、可重复性和准确性。这种PECVD系统具有高精度的过程气体计量和控制，有助于确保适当的工作参数和基板均匀性，以改善过程控制和均匀性。它还提供了一个直接的等离子体发生器，这有助于减少工艺室污染，同时提供卓越的可重复性。它为用户提供了广泛的可选工艺气体成分和腔室压力，允许多层沉积复杂拓扑。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed还为高密度涂层提供了改进的过滤。这样就不需要额外的清洁和干燥周期,从而提高了吞吐量并提高了成本节约。它还具有一个彻底监测基板温度控制，这有助于减少缺陷的形成。CONCEPT 2 Speed PECVD系统专为各行业的洁净室和生产应用而设计。适用于氧化物、氮化物、碳化物、氟化物等涂料，应用范围包括半导体加工、平板显示器、汽车、光电、装饰涂料。