二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9301536 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor是专门为超低温过程设计的沉积系统。由NOVELLUS Systems, Inc.开发的CONCEPT 2 Speed Reactor是一种单室工具，溷合线性阴极，由直流脉冲电弧提供动力。这种独特的设计能够在大约125°C至175°C的温度下运行过程，并能够沉积从氧化物到氮化物或由金属、硅化物和硅相关材料组成的单层等范围更广的材料。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor设计用于在单个单元中执行多个过程。这些包括但不限于薄膜沉积、腔室清洁、气体分配和电极处理。每个流程都可以独立运行或按顺序运行,以优化流程条件。反应堆还设计了一个可移动的腔室，允许高效和准确的质量控制分析。CONCEPT 2 Speed Reactor也有内置的自动淋浴头配置。这允许在整个腔室中均匀分布工艺气体，以及控制晶圆表面的温度。此外，阴极组件设计有金属或金属硅化物沉积的两个可互换部件。这两个组件允许单独或双进程电源调节。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor的占地面积比NOVELLUS以前的反应堆系统要大。这增加了接口区域,并为对过程优化至关重要的功能提供了更大的区域,例如更好的均匀性和改进的可重复性。反应堆还提供卓越的清洁技术，以消除可能损坏晶圆或部件的颗粒或污染物。CONCEPT 2 Speed Reactor在自给自足的环境中运行，通过消除对真空系统的需求来降低工艺成本。此外，反应堆的工艺气体流速非常低，可以配置为高效利用工艺气体。并且由于它的设计，反应堆能够运行多个过程与一个单室系统和一组真空源。最后，NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor是超低温过程的绝佳工具。与之前的NOVELLUS机型相比，它拥有更大的占地面积，并采用溷合线性阴极和自动淋浴头配置设计，从而提高了均匀性和可重复性。它还能够在一个单元中处理多个进程。CONCEPT 2 Speed Reactor提供卓越的清洁技术，高效且工艺气体流量较低。