二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9358724 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一种生产级、高度自动化、多室、离子束蚀刻反应器，设计用于高性能集成电路的精密蚀刻。CONCEPT 2 Speed在生产级别设置中提供了无与伦比的可重复性和基板一致性。它可靠、高度可配置,并提供高端、一致的离子束蚀刻（IBE）性能。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed经过优化设计,可在单室反应堆环境中提供卓越的质量和可重复性。它能够以尽可能高的精度和可重复性蚀刻高性能集成电路。CONCEPT 2 Speed利用多离子束配置,具有高均匀性双FOUP技术,可在所有基板上提供高均匀性。它是为生产具有最高精度和控制水平的特征以及在整个基板宽度上的深度蚀刻配方而设计的。蚀刻室是双壁的，并设有独立的冷却系统，以确保内部温度保持稳定和一致的优越蚀刻质量。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed还提供了其他功能,使操作员能够优化蚀刻工艺。它可以配置为独立的舞台和腔室控制，允许完全的灵活性，如果一个特定的基板需要一个定制的设置。它也可以用各种主动控制算法来工具来提高蚀刻过程的性能。这包括Adaptive IBE Control （AIC）,它利用实时反馈控制来调整蚀刻环境的变化,并优化蚀刻性能。CONCEPT 2 Speed的创新设计允许更大的基板吞吐量、更快的加工周期和卓越的可靠性。它配备了跟踪蚀刻过程性能的诊断功能,确保过程保持一致和优化。现场支持服务团队在业界是无与伦比的,它为客户提供了无与伦比的技术和运营洞察力。凭借其独特的设计和特点，NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是高端集成电路的终极IBE蚀刻反应器。