二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9389932 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一种用于半导体制造的高速反应堆。它结合了多种先进技术,为芯片制造商提供经济高效、高性能的解决方桉,以满足其紧迫的期限和具有挑战性的准确性要求。CONCEPT 2 Speed是一种快速注入/原位清洁等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）设备,可实现快速保形膜沉积,具有无与伦比的均匀性、膜应力控制和沉积速率能力。该反应堆利用了多种集成特性，可提供高性能沉积结果。这包括带有屏蔽淋浴室的Krytox™直接沉积鼓、闭环射频发生器控制和个性化石英工艺组件温度控制。快速气体交换能力进一步确保了过程的稳定性和有效的气体目标使用。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed还配备了实时基板映射系统和先进的过程控制软件。这使得反应器可以现场监测底物，并利用映射数据根据需要精确调整工艺参数，确保完美的无缺陷薄膜沉积。CONCEPT 2 Speed还通过其两区处理策略提供了卓越的均匀性和精确的厚度控制。这使得它能够快速调整基板的蚀刻速率，以适应"层对层"和"自下而上"的制造过程，提供令人难以置信的高吞吐量。反应带与辐射屏蔽相结合，确保了高水平的转移效率，同时保持极低的底物温度。为了进一步提高效率和成本效益，该装置配备了一个集成的化学整理机，可自动监测和控制化学过程中的每一个部件。这确保了整个反应过程中的质量、高压和温度控制。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是当今市场上最先进的反应堆之一。它非常适合在下一代工艺中需要经济高效且高性能工具的半导体制造商。它的高级功能提供了增强的控制、精确的精度和高效的沉积结果,可帮助芯片制造商满足最苛刻的应用要求。