二手 NOVELLUS CONCEPT 2 TiN #9206612 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 TiN（热智能氮）是一种等离子体处理反应器，在大基材尺寸上提供保形薄膜的优化沉积。它兼具高通量和高均匀性特性。CONCEPT 2 TiN反应堆由NOVELLUS Systems, Inc.制造，具有独特的设计，利用热智能氮（TIN）等离子体确保在大块场地上均匀沉积。设计包括一个高温室，在其中保持氮的气氛。通过添加脉冲直流电源进一步优化了这种环境，该电源产生了高密度、低护套电场。室内温度、压力和电场的独特结合，使得电子能级得到精确控制，为沉积过程提供了稳定性和均匀性。气体被加热到200至300 °C的温度，然后通过等离子体室内的一系列电极。电子通电电离，形成高密度稳定的等离子体环境。沉积过程从源材料汽化开始，然后在氮气大气中输送汽化材料。到达腔壁时，发生等离子体蚀刻。生成的等离子体离子随后沉积在底物水平，并与表面原子反应，产生所需的薄膜。NOVELLUS CONCEPT 2 TiN反应堆还具有可调功率水平，允许工艺工程师微调沉积速率，以满足每一个具体应用的需要。CONCEPT 2 TiN反应器是非常均匀的高通量沉积的理想选择。其先进的操作参数提供了对电子能级的精确控制，确保了准确的沉积和提高的产率。NOVELLUS CONCEPT 2 TiN反应器的效率和精度使其成为大尺寸基板上保形薄膜沉积的理想选择。