二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed #9096021 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed是为高生产力外延（HPE）和先进光刻应用而设计的CVD反应堆。它旨在提供卓越的CVD性能,具有极高的沉积速率,具有200 nm/min的均匀性和0.5 nm/min的非均匀性规格。它具有三个级别的功率，可以调整，以使所有应用的EPI结构的最优生长和表面平面度。三速反应堆在一个三级反应室运行，其中每一级占不同级别的功率。首先，采用低功率基板级来降低晶体过度生长的风险，提高表面平面度。第二阶段是强大的介质等离子体，以创造均匀的生长条件。最后，采用高功率氢等离子体进行层间成形。另外，CONCEPT 2 Triple Speed配备了TurboStar技术，该技术通过基于反应室的相位创建聚焦等离子体口袋来促进加速沉积。这样可以提高处理速度,同时保持一致性和保形性。三速反应堆还被设计为与多种先进的添加工具和光刻光学器件兼容。其低拥有成本的结构确保了最低限度的维护和长期的成本节约。NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed非常适合那些希望通过提供更快的周期时间、更高的产量和更高的可重复性来改进制造过程的用户。