二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #293622194 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一种先进的化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于在功率、温度和时间速率条件的极端条件下工作。这一设备提供了薄膜沉积均匀性和对各层金属和介电材料的精确控制，使其非常适合先进的光学、电子或半导体应用。CONCEPT 2的独特设计包括径向和线性流动反应堆的组合，以及冷墙结构和先进的均匀性和耐用性的敏感器设计。径向流动反应器和敏感器是为有效利用热能和流动能量而设计的，这有助于减少冷却时间。这使底物温度最大化，循环时间最小化，从而使薄膜沉积均匀性更好。NOVELLUS CONCEPT 2还包括先进的晶圆冷却系统，可以快速降低基板温度，实现材料在整个表面的均匀分布。该机组还利用集成的温流控制机，维持过程温度的稳定性和流过反应堆的流量。这确保了整个反应堆寿命期间动态、一致和可重复的过程结果。先进的计量工具有助于监控所有关键工艺参数,并提供高精度测量,包括层厚度、掺杂水平、蚀刻速率、晶圆形状和接触电位。该资产还通过持续监测沉积均匀性、着色率和其他基材参数来确保高吞吐量和低周期时间。CONCEPT 2具有创新的平台体系结构,可为要求最苛刻的应用程序提供模块化和可扩展性。此模型具有广泛的功能和高级功能,非常适合需要卓越的薄膜均匀性、精确控制层数和缩短周期时间的应用。NOVELLUS CONCEPT 2无论用于微电子、高级光学、生物医学还是消费者应用,都提供了卓越的工艺灵活性和精确度。