二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #293810587 待售
网址复制成功!
NOVELLUS CONCEPT 2是一种最先进的反应堆,设计用于在高科技、半导体制造过程中处理高价值基板。反应堆的特点是其持续的生产能力和在其使用寿命内的低拥有成本。CONCEPT 2反应堆有能力以比以前的NOVELLUS反应堆模型更高的效率和生产率水平进行加工。它具有增加的蚀刻工艺表面积,因此增强了制造工艺。由于改进了压力控制技术以及利用惰性气体提高整个表面的图像均匀性和对比度,反应堆能够以比竞争模型更高的沉积速率运行。该机组的运行能力围绕着其改进的热循环和温度均匀性能力。这确保了工艺表面更加一致和可靠,从而减少了能耗、成本和排放。Cycle Time性能允许提高吞吐量和更高的生产效率,这意味着公司的损失减少,利润增加。该装置采用基于腔室的加工区,将沉积过程与蚀刻过程分开。这使得工艺配方能够从一种模式转移到另一种模式,并防止来自不同工艺的污染从一种模式迁移到另一种模式。NOVELLUS CONCEPT 2反应堆设计有几个特点,以提高其可靠性。组装好的元件使用紧固件代替螺钉紧固件,并用符号标记以指示磨损点。充气和扩散罐由高级不锈钢制成,以抵抗腐蚀和磨损。反应堆采用模块化设计,允许延长使用寿命,低更换成本。反应堆包括自主控制设备,允许高效、精确运行。系统采用单击可编程配方,能够检测过温事件,并且设备会立即指示发生的任何错误或问题。控制机器进一步保证了从一次运行到下一次运行的质量保证、可靠性和可重复性。最后,该单元的设计考虑到了易用性和集成性。该设备的软件安装和使用简单,确保了NOVELLUS控制器和其他系统之间的兼容性。该设备还可以在整个生命周期内以最小的维护维护其性能和完整性。最后,CONCEPT 2旨在为高价值基材加工提供高效、高质量的结果。模块化、效率、可靠性和集成的结合使NOVELLUS CONCEPT 2成为任何半导体制造工厂的强大而可靠的机器。
还没有评论