二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9071448 待售
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NOVELLUS CONCEPT 2是一种化学气相沉积(CVD)设备,一种反应堆,用于用各种材料的薄层覆盖表面。CONCEPT 2常被用于在半导体基板和其他互连上,如铜、金、钛、铝等上创建薄膜层。NOVELLUS CONCEPT 2具有极高的沉积速率和精确控制。它具有创新的平板感应器设计,这有助于确保薄膜是一致和均匀沉积。这种设计还减少了因不同热膨胀而损坏细腻薄膜层的可能性。CONCEPT 2系统能够快速、准确地提高沉积速率.它具有两个板载振动器,可在薄膜生长过程中保持基板层的均匀性。它还有一个加热的排气装置,有助于驱除任何废气,并有助于减少对基板的污染。NOVELLUS CONCEPT 2也是高度模块化的,使得它可以通过另外三个基板热数据采集系统进行扩展,使其非常适合复杂的增长过程。模块化设计还使CONCEPT 2特别易于使用,因为可以根据需要轻松更换或升级组件。NOVELLUS CONCEPT 2具有整洁的房间设计,所有必要的组件都ISO-14644符合要求。它有三个独立的房间,所有这些房间都被持续监测压力和温度。这为用户提供了最大的灵活性,使他们能够制作一致且质量最高的影片。CONCEPT 2对于那些寻找可靠的CVD机器来打造高品质薄膜的人来说是绝佳的选择。它是一个高度模块化和多用途的工具,可以很容易地适应各种特定的应用。NOVELLUS CONCEPT 2由于其精确的控制和较高的沉积速率,是各类薄膜应用的理想选择。
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