二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9071449 待售

NOVELLUS CONCEPT 2反应器是一种CVD反应器，主要用于沉积用于半导体晶圆加工的二氧化硅薄膜。它是一个简单的沉积过程，使用一种由氧气和硅烷组成的气体溷合物，也称为硅氧烷。气体溷合物从气体供应进入腔室，然后流经反应区。在此，硅烷气体被通过反应区的电流产生的热量分解。随后，副产物氧气和二氧化硅沉积在晶圆表面上。CONCEPT 2反应器提供直接沉积，由于直流循环波形在气体/固体界面产生电场，加速了晶圆表面的反应。合成沉积以较快的速度发生，并且在整个晶片上均匀。NOVELLUS CONCEPT 2还提供对腔内温度、压力和气流的独立控制。CONCEPT 2反应器由隔热石英反应室、电化学加热元件、排气设备、真空泵、气体输送系统和控制监测系统组成。电化学加热元件利用反应区产生的电流来加热反应室，而排气单元则作用于去除产生的副产物。真空泵在反应室内提供必要的耗尽压力，而气体输送机则提供必要的气体溷合物。NOVELLUS CONCEPT 2反应堆比其他CVD工艺有几个优点。首先，它需要最少的维护，可以在低温低压下操作。此外，由于其产生的直流循环波形，它具有更快的沉积速率，并且在整个晶片上提供了更好的均匀性。最后,它的功耗相对较低,再加上维护要求低,使其成为工业应用的一个非常可行的选择。