二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9100803 待售
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ID: 9100803
晶圆大小: 6"
Metal sputtering system, 6"
Transport Module
(2) PVD Modules
Power Module
Cassette Module
CTI 8510 Compressor.
NOVELLUS CONCEPT 2是一种先进的化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于半导体制造设施。它是NOVELLUS Concept 3的前身，也是首批引入双介电环形源使用的平台之一。它特别适用于金属有机物CVD和选择性沉积等应用，以及较低温度的过程，如磷和氮化硅沉积。CONCEPT 2是一种直列式CVD反应堆，旨在提供高生产率、工艺一致性和设备可靠性。该系统利用双介电环形源增加有效基板面积，降低反应堆中产生的粒子水平。此功能允许增加基片的总数和更高的吞吐量,而不牺牲性能。耐热的石英室提供出色的温度控制，有可能达到高达1000 °C的温度。该室还被证明能够有效地维持多个过程周期，允许进行多次运行，而无需纠正或包装。NOVELLUS CONCEPT 2利用其二维脉冲电源支持多种工艺配方。这项技术允许针对每种基材的需求进行完全优化的工艺配方。这又为用户提供了控制整个晶片上蚀刻轮廓、沉积均匀性、线宽控制和温度轮廓的独特能力。此外,CONCEPT 2强大的修复和沉积选项允许高精度、可自定义的设备组件。借助NOVELLUS CONCEPT 2,用户还可以从其自动晶圆传输单元中受益。这确保了所有基片通过精确的机械输送通过多个反应堆对齐、居中和定位，利用经过验证的非接触准直光束转向技术在腔室之间转移晶片。CONCEPT 2是一个令人印象深刻的化学气相沉积反应器。凭借其双介电环形光源、坚固的修复沉积能力、二维脉冲电源以及自动化晶圆转换机，用户可以受益于更高水平的生产力、均匀性和刀具可靠性。
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