二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9113843 待售
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NOVELLUS CONCEPT 2是一种化学气相沉积（CVD）反应器，主要用于将材料层沉积到各种基板上。它能够对金属和半导体薄膜的沉积进行低温CVD工艺以及高温CVD工艺。还配备了流程监控系统。CONCEPT 2利用两个水平安装的石英淋浴头和三个沉积源将材料层沉积到基板上。石英淋浴头被环形反射室包围，利用电加热元件加热。基板放置在基板支架上，基板支架使用燃气红外灯和外壳加热。沉积中使用的气体采用质量流控制器和自动流控制器进行计量、溷合和输送到沉积室。NOVELLUS CONCEPT 2配备了广泛的诊断程序，旨在监控CVD进程。其中包括多种红外探测器、热电偶、石英晶体微天平、石英晶体振荡器。这些诊断可以快速识别CVD反应中存在的化学物质并调整工艺参数，以确保沉积膜的均匀性。此外，CONCEPT 2还配备了一个计算机系统，可以控制沉积过程和监测过程历史。用户能够实时修改流程参数，从而允许根据需要进行调整。该系统还允许用户输入和访问允许执行自动化程序的各种配方。NOVELLUS CONCEPT 2是一种通用工具,能够为各种应用生产各种精密矿床。它是半导体和信息技术制造中必不可少的组成部分，可用于一系列应用的材料的均匀沉积。
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