二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9167960 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是针对重入室优化的高性能蚀刻沉积反应器。该设备增强了先进光刻应用的蚀刻和沉积工艺。它提供了卓越的基板均匀性，提高了工艺灵活性，以及出色的工艺控制。CONCEPT 2采用了优化的体积平均负载平衡，减少了系统中存在负载导致的压降量。负载平衡与单元中的压力无关，从而导致整个基板的异常均匀性。它进一步提供了极好的工艺灵活性，允许快速的工艺变化和晶圆改造。各种气体可用于蚀刻和沉积过程，而不必重新装入工艺气体系统。这种高度的灵活性允许使用多个腔室配置。NOVELLUS CONCEPT 2利用射频功率技术进行沉积。这台机器比整个基板的沉积速率具有更好的可控性。通过改变射频功率，可以针对不同的沉积速率要求精确调整沉积速率。它还允许比传统的沉积速率更低，以提高工艺性能，更好的晶圆均匀性和更高的吞吐量。CONCEPT 2提供了一种创新的负载锁定设计,可减少过程周期时间。它还采用了一种新颖的电感耦合等离子体（ICP）源设计，使过程均匀性得到显着提高。该工具还采用了一种新的电机设计和驱动架构，可以在降低振动水平的同时增加溅射均匀性。简而言之，NOVELLUS CONCEPT 2反应堆是一种先进的高能力蚀刻沉积资产，设计用于再入室。它提供卓越的基材均匀性、工艺灵活性、工艺控制和吞吐量。针对传统和先进工艺技术进行了优化，为现代蚀刻和沉积应用提供了绝佳的平台。