二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9179262 待售

NOVELLUS CONCEPT 2设备是一种超高密度等离子体增强型化学气相沉积（PE-CVD）系统，设计用于先进的半导体制造。该装置具有极精确的沉积能力，非常适合用于先进设备和材料开发的需要沉积薄膜的应用。该机采用MRC（多环概念）设计，具有三个主沉积室。MRC基于单个腔室内多个质粒化学反应位点的概念。它具有两级、单级、多级旋转沉积环，允许在整个晶片表面进行广泛的厚度控制和均匀性。该工具还能够使用PE-CVD生产多种复杂薄膜，如特种材料、屏障层和透明氧化膜。资产配备了先进的负载锁，使晶片可以直接装入腔室而不会破坏真空。腔室具有广泛的大气和压力控制能力，能够一次处理多达24个晶圆。该模型还设计了先进的排气设备，能够安全、高效地清除废料，防止系统部件堆积。CONCEPT 2还具有先进的等离子体源，允许在沉积过程中精确控制能量输入。这种先进的光源采用动态变频技术，在整个晶圆表面传递均匀的等离子体功率密度。该单元还配备了多种先进的诊断和计量系统，旨在检查沉积膜的质量，确保整个晶片的均匀性。最后，NOVELLUS CONCEPT 2机是一种精密高效的PE-CVD工具，专为先进的半导体制造而设计。其薄膜的精确沉积和晶片表面的均匀性使其成为设备和材料开发应用的理想选择。NOVELLUS Concepts 2通过其先进的负载锁定、腔室压力和大气控制、先进的等离子体源以及先进的诊断和计量系统，能够为各种应用提供最先进的薄膜沉积。