二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9186060 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9186060
晶圆大小: 8"
CVD System, 8"
Sequel chamber
Modified reduced foot print frame
Missing parts:
Meter, DC, press, digital, leak back
Switch / Gauge photohelic
Gas lines plumbing (ALL)
MFC Cable (ALL)
Gas box cabling (ALL)
Numerous system cable (99% Gone)
Lower lift / Rotate assembly (Spindle)
Top plate: Except (4) panels
Intact items or present items:
Vacuum general adapter AC-2
EUROTHERM Heater controller
Heater feed through
RF Isolated TC (Filter)
Valve, throttle, vacuum control
Valve, gate, high vacuum
Upper spindle assembly
Heater block
(5) Shower heads
Fork plate / Ceramic forks
MYKROLIS MFC Gas panel (No plumbing)
Top plate: Lift assembly
Local power box (LPB)
Mega pac: MP5-95532
IOC 27-10318-00 Rev B
Shunt cap (For tune)
Temporary / Pressure control box.
NOVELLUS CONCEPT 2是一种单晶片批次化学气相沉积（CVD）反应器，旨在满足半导体工业的苛刻需求。CONCEPT 2反应堆能够以更高的吞吐量速度执行高级过程，以达到更高的产量和更低的产品成本。NOVELLUS CONCEPT 2反应器设计用于沉积过程，包括钨和硅基薄膜，如Ti/TiN、SiOC和BCB。该反应堆在不影响产量的情况下提供了卓越的性能。它具有独特的设计配置和强大的电动头设计，以更好地控制工艺室的条件。它配有多个内部电极，以更好的均匀性和减少电磁干扰。CONCEPT 2反应堆还可以使用转移机器人轻松连接到其他沉积工具。NOVELLUS CONCEPT 2的直径为6英寸或8英寸,提供多种工艺选项,包括单晶片、批处理、多区域和多腔处理。利用实时、多段温度控制系统进行精确的过程控制和稳定。该系统采用串行高性能嵌入式处理器,可实现最佳运行。CONCEPT 2以其M4喷射器支持连续的陶瓷气体喷射输送和按需给药。它还有一个冷空气外围系统，可以连接进气门和排气门，以减少不需要的热负荷，并提供干净、无尘的工艺环境。NOVELLUS CONCEPT 2可以通过其强大直观的软件轻松集成到新的或现有的系统中。流程增益和参数易于设置和监控，实时流程数据可用于检测潜在问题并最大化产量。总体而言，CONCEPT 2是一种高效、高性能的先进工艺CVD反应堆。它具有卓越的精确度和性能,并具有直观的软件和先进的过程控制,是实现高产和降低产品成本的绝佳选择。
还没有评论