二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188214 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一个连续的单晶圆反应堆，为制造商提供了高质量生产微电子器件的创新方法。它是一个独特的系统，在沉积、氧化、氮化和蚀刻操作中提供解决方桉，实现了前所未有的均匀性和最大吞吐量。CONCEPT 2反应堆由真空室、射频等离子体源、感应耦合等离子体发生器、独特的固态晶片支架和一组工艺模块组成。腔室与周围的电子设备热隔离，而内部的灯管和快门系统则允许反应堆内部的过程可视化。射频等离子体源是NOVELLUS CONCEPT 2的核心，由三级设计组成，主要用于氧化物、氮化物或蚀刻工艺。它有助于保持离子能量和通量在晶片上的最佳平衡，从而实现精确的逐层沉积控制和卓越的均匀性。板载感应耦合等离子体源能够产生不同的自由基种类进行蚀刻或清洗操作。固态晶片架是CONCEPT 2的关键组成部分，为反应堆和工艺模块之间转移晶片提供了快速可靠的机制。该持有者允许垂直和水平精确的晶片控制，以补偿任何不均匀的载荷条件。NOVELLUS CONCEPT 2反应堆还包括一套旨在提高性能和均匀性的先进工艺模块，包括：用于控制性能和超平滑层的高性能氧化模块；一个低温氮化模块，以利用氧化物工艺无法提供的丰富的TDD和BTI外延生长；以及先进的蚀刻模块，用于高度精确的蚀刻/清洁操作。这与从机器内部控制沉积/蚀刻室内多个变量的能力相结合。这些功能实现了对设备结构和微细尺寸的无与伦比的均匀性和全面控制。CONCEPT 2易于升级，允许客户在单个反应堆中切换氧化物、氮化物或金属工艺。这种灵活性使得生产更广泛的微电子器件具有比以前更高的质量和更低的成本。