二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188216 待售

製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT 2
ID: 9188216
TEOS gas cabinets.
NOVELLUS CONCEPT 2是一种用途广泛的反应器,利用化学气相沉积(CVD)将材料对齐并沉积到基板的指定区域。该设备利用一系列特殊气体,如硅烷和三甲胺,产生沉积物。用户可以调整反应堆的压力、温度和气流,以产生所需的效果。它是广泛研发应用的理想选择。该反应堆生产的产品高度均匀,可用于大规模生产和工业应用。对于纳米线和量子点材料的制备特别有用。CONCEPT 2由主腔室、装载机/卸载机、计算机和控制接口组成。圆柱形主腔室通常在300-500毫巴压力和300-500摄氏度的温度下运行。定期用N2清洗反应堆,以确保无污染环境。可以为各种沉积方法编写各种配方。系统的装载机/卸载机组件装有一个机器人臂,用于将底物运往和运出反应堆。计算机单元与机器的其他组件无缝集成。控制界面允许实时反馈和用户友好的编程命令,使用户能够即时调整参数和进行更改。其先进的等离子体控制工具允许用户调节腔内等离子体参数的功率和频率,以获得最佳沉积速率。该资产还包括一个创新设计的散热模型,以确保高效冷却和最大限度地延长其寿命。NOVELLUS CONCEPT 2是一种功能强大、用途广泛的反应堆,应用范围广泛。从量子器件的纳米级沉积到元件的大规模生产,这种反应堆确保了各种材料的精确度和高质量的结果。凭借其稳健的设计、最佳的性能和高端的控制设备,CONCEPT 2是众多工业运营的理想选择。
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