二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9188218 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一种等离子增强化学气相沉积（PECVD）反应器，旨在提供卓越的设备性能。它是一种高度先进的自动化工具，适用于沉积各种材料，铜、铬和铝就在其中。CONCEPT 2配备了多个主动区源，产生高效、可控和清洁的沉积过程。使NOVELLUS CONCEPT 2性能与竞争产品脱颖而出的关键特点是其极高的过程重复性和统一性。这是通过使用两个独立操作的基于TEM单元的源来实现的,这些源经过精确调整以始终保持高工艺精度。该系统是基本安装的,这是一个可升级的平台,可为用户添加功能和特性,以满足特定的应用程序需求。它具有紧凑、符合人体工程学的设计,允许在有限的空间内进行安装和操作。CONCEPT 2能够支持范围广泛的高级应用，从单晶圆到高吞吐量的生产应用。该系统包括反馈控制和监测设备，以确保可重复性和高产率。自动控制和监测设备监测和测量沉积速率、温度变化和气流；提供业界最高级别的工艺性能和参数控制。它配备了Advanced Gas Distribution（AGD）技术，这是NOVELLUS独有的技术，精确控制反应气体向基板表面的输送，比传统的气体输送系统允许更多的均匀性和控制性。NOVELLUS CONCEPT 2能够提供统一和可重复的结果,利用低热预算沉积.这是由于CONCEPT 2通过AGD技术提高了工艺控制,并实现了精密沉积速率控制,该功能允许用户在单次运行中以惊人的精度和可重复性调整沉积速率,以避免蒙版边缘涂层,并提供极好的纵横比填充和最小的顶夹阴影。NOVELLUS CONCEPT 2是一款下一代的全自动工具，与竞争产品相比，提供卓越的性能和精确的控制。自动化的过程监测、控制和反馈系统使CONCEPT 2成为高级沉积应用的理想选择，具有很高的可重复性和高产率。