二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9206050 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一种高性能、等离子体增强的化学气相沉积（PECVD）反应器，设计用于先进的薄膜制造。CONCEPT 2反应器采用专利的溅射增强淋浴头设计，在大型基板上提供高度均匀的薄膜沉积。溅射增强型淋浴头设计还允许以比传统淋浴头更高的速率沉积较厚的薄膜。NOVELLUS CONCEPT 2反应器具有较大的工艺室体积，能够沉积高通量的较厚薄膜。CONCEPT 2反应堆是一个两区系统，包括一个主腔室和一个底物接收部分，通过一个过程通道与反应腔室相连。工艺通道提供了从反应室到底物接收部分的连续的工艺气体流动。NOVELLUS CONCEPT 2反应堆装有高频双频射频源，向反应室内的底物和加工气体提供能量。双频射频源提供了针对不同薄膜工艺调整等离子体参数的能力。CONCEPT 2反应堆配置性强，可针对特定工艺量身定制。它能够处理直径达300毫米的晶片，是3D-IC应用的理想选择。反应堆在控制工艺气体浓度和射频功率水平方面提供了灵活性。一种具有反馈控制的专利气体歧管系统，可以快速、精确地调节气体流量和气体在反应室内的停留时间。NOVELLUS CONCEPT 2反应堆旨在满足现代IC技术日益增长的需求。其高吞吐量和灵活性，加上丰富的配饰系列，使其成为各种薄膜应用的诱人选择。CONCEPT 2提供了独特的功能来优化高级工艺性能,从而能够制造出性能卓越的高性能设备和电路。NOVELLUS CONCEPT 2是一款可靠、经济实惠的工具，在半导体应用方面占地面积很小。它提供了高度自动化的精密过程控制，高质量的沉积，和过程的统一性。其先进的计量和诊断能力最大限度地提高了过程的稳定性和效率。此外,它的低成本维护和长寿命使其成为长期项目的一个有吸引力的选择。CONCEPT 2是先进薄膜沉积的强大工具，是当今半导体行业工业制造的理想选择。