二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9235678 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是用于半导体工业的化学气相沉积（CVD）反应器。它是一种单晶片、批处理、多室CVD反应堆，其设计目的是为了实现快速的工艺开发、工艺鉴定和高通量的生产。CONCEPT 2由于其独特的多室结构和广泛的腔室兼容过程气体，使沉积过程具有灵活性和选择性。NOVELLUS CONCEPT 2为半封闭两区设计。主室由一个底室和一个顶室组成。顶室是主加工室，在这里进行CVD处理。两台气体路由器可将多种保形过程气体引入顶室，从而对腔内的化学成分进行极其精确的控制，并在沉积过程中调节晶圆的温度。底腔内充满了水分交换气体，设计用来反向给腔室充电，以防止氧化和颗粒堆积。CONCEPT 2配备了一系列机器人功能。机器人臂设计用于将基片晶片从一个腔室移动到下一个腔室，将其引入顶部腔室，并引入和移动气体管线、衬管、加热器、屏蔽等其他部件。机器人还被设计为能够模仿非对称运动，从而增加了化学通量和过程的灵活性。NOVELLUS CONCEPT 2反应堆装有先进的过程控制系统（APC）。APC可以编程为晶圆、机械臂和加工气体的精确运动。APC还监测反应堆内和过程气体如温度、等离子体压力和流速的状况。这种控制允许过程参数的高度精度，提高了CVD过程的速度和质量。总之，CONCEPT 2反应堆是一种独特的设备，设计用于控制化学气相沉积过程的温度、速度和精度。其双区设计和先进的工艺控制系统，使工艺快速发展，工艺资质和高吞吐量生产成为可能。