二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9262616 待售

NOVELLUS CONCEPT 2反应堆是一种最先进的生产工具，专门设计用于增强半导体芯片制造的金属沉积工艺。该反应器最适合窄间距至中间距铜RDL（重分配层）和多介电材料（MDM）沉积。这种类型的沉积是先进微芯片设备制造过程中的关键步骤。CONCEPT 2反应器具有独特的工艺室，对工艺施加苛性泵压力，以及优化沉积均匀性和阶梯覆盖率的管状背面操作环境。该室还装有低压蒸气设备，用于安全高效地控制工艺温度。该系统有助于确保整个沉积过程的均匀性和可重复性。NOVELLUS CONCEPT 2还包括一个集成的高级工艺控制单元，用于监控和调节整个基板上的压力、温度、供气和其他参数，以确保最大程度的工艺控制。此功能可确保保持一致的高质量矿床,且变化最小。CONCEPT 2包括内置变频发电机，提供可调频率、多频操作和高速工频切换能力。该发生器产生一个脉冲射频能量场，有助于提高沉积过程的性能。NOVELLUS CONCEPT 2能够自动化惰性气体操作，确保对整个基板统一的气体负荷和压力控制，以及单独控制内部喷射器高度和段温度。此功能可精确控制流程,并有助于确保性能一致。CONCEPT 2还提供高效的粒子捕获技术，提高沉积过程中的粒子性能，增加循环时间。该反应堆采用非接触式隔振机，将振动与基体隔离，提高了通量和均匀性。最后，NOVELLUS CONCEPT 2反应器是一种先进的生产工具，旨在提高半导体芯片制造的金属沉积工艺。反应堆的集成过程控制工具、变频发生器、惰性气体操作、粒子捕获技术都有助于增加循环时间，提高过程性能和控制。