二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9281499 待售

NOVELLUS CONCEPT 2
製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT 2
ID: 9281499
Single speed chambers.
NOVELLUS CONCEPT 2设备是一款高度先进的工业级沉积处理器,旨在满足尖端制造工艺的需求。该系统采用模块化设计,为用户提供支持任何先进沉积过程所需的资源,包括保形涂层、原子层沉积、真空过程和物理气相沉积等现象。CONCEPT 2反应器由四个主要子系统组成:一个氧化还原单元、一个真空泵单元、一个热单元和一个工艺室。氧化还原池由目标和基板两个表面组成。目标是要沉积材料的表面,而基板是基面。借助加热元件,氧化还原池允许在目标和基板表面均匀处理材料。真空泵机器通过在反应室内保持适当的压力以及帮助创造近乎完美的真空来帮助确保一致的工艺性能。这个工具使用了一系列的泵从低温到涡轮泵,以确保正确的结果。热装置在加工过程中提供准确一致的温度控制。该资产使用红外激光检测基板温度,允许精确控制加工区域的温度。最后,利用工艺室将物料沉积到目标和基材上。这一过程涉及创建一个等离子体,其中含有精确测量的反应性气体和能量,然后激发材料颗粒并使其沉积到表面。该室还包含一个单独的模型,称为剂量室,用于添加和控制促进该过程所需的各种气体。最后,NOVELLUS CONCEPT 2是一款功能强大的工业级沉积处理器,可帮助满足对高级沉积过程的需求。利用其模块化设计,此设备可以提供广泛的功能和功能,使用户能够从其制造过程中获得最佳效果。
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