二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9315487 待售

NOVELLUS CONCEPT 2反应器是一种环保的反应性离子蚀刻设备，旨在提供高密度等离子体的精确蚀刻能力。反应物气体被加热使组成等离子体的气体电离，使气体加速走向金属表面。当反应物离子撞击金属时，各个离子的能量被消耗掉，以去除表面的金属原子。此外，这使得对蚀刻工艺的高度控制能够创建一个统一的基板。这是CONCEPT 2解决方桉所采用的方法。NOVELLUS CONCEPT 2系统使用户能够实现更高的生产率、更长的运行时间和改进的过程控制。它能够处理任何厚度的层,从薄膜到较厚的结构。流速可以按顺序进行精细调整,以创建所需的蚀刻结构。该单元包括几个功能,这些功能旨在保护环境并确保操作过程中的最高清洁度。这包括一个空气回收机过滤掉任何颗粒，在进料点的第二个壁防止任何反应物泄漏到外部环境，以及一个专用的排气线，引导任何反应远离生产区域。CONCEPT 2工具被设计为非常高效，提供的处理步骤比其他RIE系统少30%。整个资产（包括电源和控制器）的大小适合应用程序,因此用户可以根据需要自定义其设置。该模型还包括一个可选的Current Tuning功能,允许用户调整电源设置以达到理想效果。这是一个有用的功能,因为它可以节省时间并提高设备性能。NOVELLUS CONCEPT 2还附有全套控制功能。这些功能使用户能够精确控制工艺参数,如蚀刻速率、温度、气流和压力。此外,还可以通过图形用户界面远程监视和调整系统。这样可以确保以一致的方式实现所需的蚀刻结果。总体而言,CONCEPT 2是一个功能强大的蚀刻单元,提供精确和高级的控制功能。NOVELLUS CONCEPT 2通过显着减少处理步骤和强大的安全协议,非常适合各种应用,从薄膜蚀刻到先进的设备制造。