二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9315488 待售

製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT 2
ID: 9315488
CVD System, 8" Mainframe Wafer type: Notch System and module controller: MC1 SSD Index robot: Type II Magnetron 7 Transfer robot Endpoint detector Sequel chamber: Sequel express DLCM: S1253 Process type: SION IOC Version: 4.2 Gas box configurations: Gas line / Gas flow (SCCM) / MFC Make / MFC Model SiH4 / 750 / HORIBA / Z512 N2 / 5000 / UNIT / UFC1661 SiH4 350 HORIBA / Z512 He / 10000 / UNIT / UFC1661 NH3 / 10000 / UNIT / UFC1661 He (Aux) / 1000 / UNIT / UFC1661 NF3 / 5000 / UNIT / UFC1661 N2O / 20000 / UNIT / UFC1661 N2 / 12000 / UNIT / UFC1661 CO2 / 20000 / UNIT / UFC1661 CE Marked 2001 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2反应堆是一种先进技术的化学蚀刻设备,通过提供高水平的工艺控制和生产率满足制造业的需求。创建这一非常成功的蚀刻系统是为了提供最高级别的生产力、精确度和质量保证。它基于强大的设计,结合了NOVELLUS Concept 1 tm功能集的高级功能以及其他最先进的技术。CONCEPT 2反应堆是一个集成的化学蚀刻单元,包括多种功能,旨在提供卓越的工艺控制和生产率。该机器利用高级工程功能,旨在确保每个阵列位置的蚀刻深度一致,并支持最复杂的蚀刻操作。它的反馈环路控制工具提供了更高水平的过程控制和准确性,使其能够满足生产和原型的严格要求。NOVELLUS CONCEPT 2反应堆设计为在10°至80°摄氏度的温度控制环境下运行,非常适合与多种基板一起使用,如硅、钨、金等。该反应堆还包括激光探测资产,用于识别和防止损坏被蚀刻的材料。该模型还包含了旨在提高生产率的各种工艺能力,例如可调功率水平高达2000 W,优化了详细蚀刻工艺参数,能够将蚀刻参数从一个作业转移到下一个作业,并支持每个腔室多个样品。该设备的先进特点还包括能够精确控制基板的原位温度。此外,CONCEPT 2反应堆具有广泛的安全特性,如紧急停止按钮、互锁触点、过温控制系统等。反应堆还利用了一系列化学输送系统和传感器技术,用于精确计量和监测蚀刻工艺。这种高度先进的蚀刻系统旨在提供最高水平的生产率和精确度,同时确保产品的质量和安全性。NOVELLUS CONCEPT 2反应堆结合了这些尖端特性和卓越的工艺控制能力,适用于任何生产环境。
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