二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9316802 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于沉积氮化硅、氧化硅和其他介电和屏障膜。用于铜互连、扩散屏障、保护层等半导体器件制造工艺。CONCEPT 2反应堆凭借其创新的设计和高质量的部件，能够提供优于传统方法的性能和可靠性。NOVELLUS CONCEPT 2反应堆利用矩形反应室、晶圆船基板架和先进的气体输送系统提供有效的CVD工艺。该系统采用先进的软件包和控制器,以最大限度地提高CVD处理效率。CONCEPT 2反应堆装有三电极磁控管溅射源、直流等离子体源、低压（LV）源和高压（HV）源。磁控管溅射源提供均匀的氮化物和氧化物薄层沉积，而直流等离子体源用于氮化物和氧化物的平面化层。LV和HV源提供了额外的功能，包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、硅化和离子镀层。为了保护底物不受污染，NOVELLUS CONCEPT 2 CVD反应堆设计有几个特点，确保了清洁和均匀的沉积。首先，专有的Jetfilm保护模块将沉积过程与室内污染物隔离开来，防止含氟物质回流。反应堆还采用高效过滤升降机、低温晶片加载系统和耐腐蚀加热器，以最大程度地减少室内的杂质堆积。CONCEPT 2进一步设计为具有高精度自动化和控制功能,以帮助确保可靠的过程性能。它提供了一个健壮准确的晶圆船定位系统，先进的配方执行能力，和几个特点，以确保沉积过程的一致性和可重复性。NOVELLUS CONCEPT 2反应堆是一种高度通用的工具，能够满足任何器件在电介质和屏障方面的尖端应用要求。