二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #9408537 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于大体积制造薄膜沉积工艺。特别适用于半导体工业中的多层薄膜应用。CONCEPT 2利用具有许多独特功能的动态处理技术来提供业界领先的性能。NOVELLUS CONCEPT 2的结构是一个单件的不锈钢建筑容器，内衬腐蚀性的"解决方桉"，提供高效、经济高效的处理。反应堆利用独立的加热区实现材料的高效、可重复的加工。每个区域都有独立的供暖和制冷能力，以提供精确的过程控制。CONCEPT 2还具有闭环反馈设备，能够实时控制沉积过程。该系统可以精确控制腔室内的温度和压力，并利用原位沉积速率监测器，能够精确控制沉积速率。NOVELLUS CONCEPT 2反应器确保最佳的腔室保护，以保持清洁和防止任何污染腔室表面。它有两个隔离阀，两个O形环，两个膜隔离密封，将腔室与外界大气隔离，以及特殊的粉尘发射单元，以降低操作过程中产生的粉尘和颗粒的水平。CONCEPT 2为可重复和可靠的结果提供了非常精确的过程条件。它自动监控机器压力、温度和其他参数，确保沉积精度和产量的正确条件。它采用多区域体系结构对沉积速率进行统一和精确的控制。该工具还具有实时数据反馈功能，可实现比其他CVD反应堆技术更精确的控制。此外,NOVELLUS CONCEPT 2还具有易于操作的功能,可确保资产的经济性和高效率运行,而且维护最少。这包括自动晶片装卸、温度和压力控制系统以及内置的原位速率监测器。此外,CONCEPT 2与几种不同的源代码技术兼容,提供了令人难以置信的多用途功能。总体而言，NOVELLUS CONCEPT 2反应器是精确、可重复、可靠的薄膜沉积工艺的绝佳选择。其动态处理技术、优越的腔室保护、独立的加热区和实时反馈系统，使其成为半导体行业大批量应用的理想选择。