二手 NOVELLUS Concept 3 Altus Max #293619588 待售

NOVELLUS Concept 3 Altus Max是为半导体工业设计的高端高容量制造反应堆。这种特殊的反应堆特别适合生产先进材料，包括纳米尺寸的材料。概念3 Altus Max的核心是它的化学气相沉积（CVD）设备。该系统设计用于将各种材料沉积到包括聚合物和金属在内的基板上。此外，它还能够制备用于后续加工的基材，如氧化物蚀刻或化学机械抛光。CVD单元由沉积室、气体溷合单元和过程控制单元三个主要部分组成。沉积室能够达到高达1100˚C的温度，并装有石英窗口，使研究人员能够现场观察他们的实验进展。过程控制单元负责监测室内反应物的温度、压力和流量，允许对CVD过程进行高度精确的控制。除了CVD功能外，NOVELLUS Concept 3 Altus Max还配备了热成像相机，可以生成样品表面地形的详细3D图像。这项技术允许直接观察材料沉积和蚀刻过程，帮助优化反应的下一步。最后，Altus Max结合了高精度的激光划线机。这样就可以在基板上精确放置特征,例如通孔和电路模式。总体而言,Concept 3 Altus Max是高端、高批量制造的绝佳工具。它结合了CVD、热成像和激光划线，非常适合探索材料科学和纳米技术的新技术。其精确度和高吞吐量使其成为任何希望扩大生产能力的实验室或工厂的宝贵资产。