二手 NOVELLUS Concept 3 Altus #293763440 待售

NOVELLUS Concept 3 Altus是一种PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备，用于多种材料的沉积，用于一系列应用。该系统采用一种称为三区微波反应堆的设计，其工作原理是有三个由有穿孔的墙壁隔开的区域。在第一个区中，初始等离子体被点亮，气体溷合物向第二个区中的底物加速，称为反应区。最后，使用中和区防止任何反应发生在主环流区外。该单元用于生产半导体芯片的电子元件。它被设计为在使用多种材料的同时高效地制造金属氧化物硅（MOS）装置，如硅、碳、氮、硫和氢。所有这些材料都可以在机器中使用，这为设备的设计提供了灵活性。概念3 Altus是一种高度可靠的工具。这得益于它使用了三个腔室，其中两个专用于气体循环，一个专用于等离子体放电。这种设计还确保了资产具有极其均匀的温度，从而确保用于制造设备的材料是一致的，并导致高质量产品的生产。该模型还具有一系列安全特性，以确保反应堆及其处理的材料保持安全。设备的控制系统是高度先进的，并且经过了设计，以确保设置过程可以很容易地再现。这有助于提高产量和生产率。该单元还具有自动校准功能,这意味着可以记录对过程的任何更改,以便将来使用这些更改。这减少了进行调整所浪费的时间,并降低了生产运行之间出现差异的风险。总体而言，NOVELLUS Concept 3 Altus是一种先进可靠的PECVD机器，用于多种材料的沉积，高度可靠。它提供了一系列功能,旨在提高工艺效率和可控性,并确保生产的产品质量最高。