二手 NOVELLUS Concept 3 Altus #9375599 待售

NOVELLUS Concept 3 Altus（C3A）是为半导体制造设计的行业领先反应堆。该C3A在受控材料性能和工艺参数方面提供了无与伦比的性能和多功能性。C3A有一个大的矩形腔室，能够容纳多达三个热过程，这可能涉及几个温度、压力、流量和其他过程条件。这些过程中的每一个都可以独立控制。该平台配有内置的交互式控制设备，具有广泛的自动化功能，便于在室内设置和维护准确的条件。该C3A内部还包括一个双炮塔系统，使多个化学气相沉积（CVD）室能够在同一单元内使用。这允许大型进程运行超出其他类似规模的系统可以实现的范围。C3A的功能随着智能腔室传感技术的实施而进一步扩展。这项技术通过感测和监测腔室内的条件，帮助操作员实时调整工艺条件。这就产生了一种高度均匀的涂层，在大面积上的可重复性为±。该C3A还配备了热排气和压降传感器、内爆保护机、帮助小颗粒从腔室排出的冷却热平台等几个安全功能。这些安全功能有助于保护工具免受任何潜在的意外损坏。总体而言，概念3 Altus是一种革命性的反应堆资产，在半导体生产中提供可重复和统一的结果时，其多功能性和性能都不相等。凭借其广泛的工艺条件、安全特性和Smart Chamber Sensing技术,C3A是一个经济高效的解决方桉,可以根据您的确切需求进行定制。