二手 NOVELLUS CONCEPT 3 INOVA-xT #9314932 待售
网址复制成功！
ID: 9314932
晶圆大小: 12"
PVD System, 12"
Process: AL, TI(N)
EFEM:
Load port: (3) FOUPs
Interface: Right with keyboard, mouse and monitor
Wafer / FOUP: 25
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
Robot traverser
WTS-HV:
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot
Robot blade: Ceramic, dual
No SIOC
Cryo HUB
CTI-CRYOGENICS IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
No MC3 System controller
No MC3 Handler controller
Left and right load lock:
PFEIFFER TMH 071P Turbo pump
VAT Isolation valve
Left and right degas:
PFEIFFER TMU 521P Turbo pump
VAT Isolation valve
Cool:
PFEIFFER TMH 071P Turbo pump
Q300 AL and Q300 TIN:
No module controller
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC: Ar, 200 SCCM
MKS MFC: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C: UPC (300 SCCM)
INFICON Ion gauge
Anafazer Module
HCM TI and HCM TAN:
No module controller
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC: Ar, 200 SCCM
MKS MFC: N2, 200 SCCM
MYKROLIS UPC: 300 SCCM
AERA FC-980C Ion gauge
Anafazer Module
Electric cabinet rack (Q300 AL):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
Electric cabinet rack (Q300 TIN):
No ESC power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
(2) Electric cabinet racks (HCM):
TREK 684 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supplies
(8) SORENSEN DLM 60-10 EM Coil power supplies
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
(3) POLYCOLD 1XCL Chillers
No SPUD gas box
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Desktop PC
Missing parts:
MC3 Controllers for system and module
(2) MDC KAV-075-P Angle valves
VARIAN TV250 Pump
(4) Z-Table movement controllers, P/N: 19-131418-00
CTI-CRYOGENICS Roughing valve, P/N: 8112579G003
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 RF Generators, P/N: 27-156759-00 / 3155107-101
VERIFLO SQMICRO302PFSFF Manual valve, 1/4 VCR, 2 way female
(4) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot.
NOVELLUS Concept 3 Inova XT是一种最先进的反应堆，设计用于制造集成电路。该反应器通过使用先进的高温过程，如化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）和物理气相沉积（PVD），可以实现优越的薄膜沉积。它能够沉积广泛的材料，包括铜、钛、铝和硅氧化物，从而可以用于创建多种不同的组件。该反应堆由三个主要部件组成：等离子体源、主室和排气塔。等离子体源引导高能分子的来源，这些分子导致过程室内的气体原子电离。这允许与正在加工的材料发生反应。主室容纳正在加工的材料，并控制设备的温度和压力。排气塔有助于防止污染物颗粒远离反应和任何正在处理的材料。概念3 Inova XT具有极其精确的过程和极好的可重复性。其多区控制有助于实现均匀沉积，而不会在整个工件上造成任何污染问题。它可以针对各种工艺参数进行编程，从而能够选择最佳工艺设置以获得最大的薄膜性能。该反应器的主室具有高温绝缘，可提供优异的热效率以及整个室的热均匀性。这有助于确保温度保持在最佳操作参数之内。该室还配备了自动跟踪系统，可在处理过程中精确控制气体和目标材料在室内的位置。这允许优化的过程可重复性。此外,NOVELLUS Concept 3 Inova XT还配备了实时监控单元,可实现闭环过程控制。总体而言，Concept 3 Inova XT是一种高度先进的反应堆机器，它为铜集成过程和其他一些相关过程提供了卓越的薄膜沉积能力。其高温、多区控制在整个过程中提供均匀的沉积和优异的热效率。它还能够实时监控整个过程,从而实现优化的过程重复性,并能够选择最佳设置以实现最大的薄膜过程性能。
还没有评论