二手 NOVELLUS Concept 3 Inova #293638673 待售

NOVELLUS Concept 3 Inova是一种晶体化学气相沉积（CVD）反应器，用于化学物种沉积在基质上。沉积过程通常在真空室中进行，是制造各种半导体和相关材料的理想选择。概念3 Inova CVD反应器的目标是能够在相对较低的温度下沉积低缺陷密度、均匀沉积的高质量材料。Inova有两个源两个淋浴头模块化设计，具有自动入口和出口，从而实现了比传统反应堆更高的吞吐量。它灵活的模块化设计允许垂直和水平晶圆方向，以及各种气体输送和排气系统。凭借其创新的设计，Inova能够运行各种流程集成配方。CVD反应堆利用多种工艺气体，具有极好的温度控制范围，可以调整以最大限度地提高沉积材料的质量。NOVELLUS Concept 3 Inova适合于工艺优化，因为它配备了石英入口窗口、先进的加热系统以及其他确保给定工艺最佳温度范围和均匀性的专用硬件，不需要进一步的工艺调整。此外,它的多重电极设计、自动加载和卸载以及自动化功能使客户能够根据需要定制工艺配方。Inova CVD反应器设计用于材料的大面积/小面积沉积和保形沉积，用于各种光电、纳米加工和MEMS应用。凭借高温能力、实时端点检测和质量控制等先进功能，Inova是需要高性能CVD反应堆的客户的理想选择。该系统配备了Direct Drive Showerhead，允许精确的过程控制和快速的响应时间。它还具有完全的原位清洁能力，能够实现卓越的膜质量和沉积均匀性控制。总体而言，Concept 3 Inova是一个先进的CVD反应堆系统，提供卓越的沉积性能和卓越的质量控制能力。该反应堆用途广泛，具有很大的灵活性，是各种半导体和先进材料沉积应用的理想解决方桉。