二手 NOVELLUS Concept 3 Inova #9259672 待售
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ID: 9259672
晶圆大小: 12"
优质的: 2000
PVD Systems, 12"
Process: MPD (WTS-HV)
(4) Chamber: Q300 AL, Q300 TiN, (2) TiHCM
EFEM:
Load port: (2) FOUPs
Right with keyboard, mouse and monitor
Clean room wall interface
Wafer / FOUP: 25
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
ATM
WTS-HV:
(2) BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robots
Robot blade: Ceramic, dual
SIOC: 0-4
Cryo HUB
IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
No MC3 System controller
No MC3 Handler controller
Left and right load lock:
TMH 071P Turbo pump
VAT Isolation valve
Left and right degas:
TMU 521P Turbo pump
VAT Isolation valve
Cool:
TMH 071P Turbo pump
Q300 AL and Q300 TIN:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
AERA UPC (300 SCCM)
INFICON Ion gauge
Anafazer Module
(2) HCM TI:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
MYKROLIS UPC (300 SCCM)
MYKROLIS Ion gauge
Anafazer Module
Electric cabinet rack (AL / TIN):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPW2870B10 CPI DC Power supply
Electric cabinet rack:
TREK 684-1 ESC Power supply
(2) CPW2870B10 CPI DC Power supplies
(8) DCS80-13E EM Coil power supplies
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
POLYCOLD PGC-150 Chiller
POLYCOLD 1XCL Chiller
CTI 9600 Compressor
SPUD Gas box
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Missing parts:
MC3 Controllers for system and module
MKS 651D-16202 Throttle valve controller
(4) Z-Table movement controllers, P/N: 19-131418-00
POLYCOLD 1XCL Closed loop gas chiller
VAT Valve, P/N: 07512-UA24-0001
TMP Controller, P/N: 19-126817-00 Rev B and 88-30620-000
CTI-CRYOGENICS Controller, P/N: 823247G001
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 Generators
VERIFLO SQMICRO302PFSFF Manual valve, 1/4 VCR, 2-way female
(3) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
MAG7 Robot
2000 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Inova反应堆是一种高通量、连续流动的反应堆设备，用于合成精细化学品。它设计用于研发和扩展应用。该系统可用于合成一系列化合物，包括药品、农用化学品、香料和香料以及聚合物。该装置采用三级连续流动反应堆设计，能够可靠一致地合成各种材料。第一阶段是注塑反应器，其中溷合了含有反应物和催化剂的加热液流。加热器监视流的温度，可以将流加热到50-400°C之间的温度。第二阶段是搅拌容器，在其中发生均质溷合，以允许反应物的高效和完全转化。第三阶段是分离收集反应产物的分离器。概念3 Inova反应堆设计具有多种安全功能，包括车载气体监测机、万一超压自动关闭、危险气体自动锁定和紧急关闭装置。反应堆还配备了基于计算机的控制工具，可以对资产参数进行监测和控制。它可以与计算机或可编程逻辑控制器（PLC）连接，以进行高效的过程监控、控制、自动化和数据记录。反应堆还配备了可用于控制反应温度的电加热器。该加热器可在-50至+250°C的范围内调节。此外，该模型设计为与多种催化剂一起使用，可以适应反应条件和操作变量的变化。为了减少清理反应堆所需的时间和精力，NOVELLUS Concept 3 Inova反应堆采用了自动清洗系统。这些系统采用机械和化学处理方法相结合，自动彻底清洁反应堆腔室。所需的清洁时间最多可减少90%，从而加快了工艺周期的完成率。Concept 3 Inova Reactor是在研究、开发和扩展应用中产生小分子和精细化学物质的高效且具成本效益的工具。它的三级连续流动反应堆设计、安全特性、基于计算机的控制设备和自动清洗系统都有助于系统的效率和有效性，使其成为许多应用的首选。
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