二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9167157 待售

NOVELLUS Concept III Speed Max是一种高性能的垂直化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于半导体工业中的薄膜沉积。它是一个高生产力、可扩展和可配置的平台。该反应堆能够进行从金属到多晶硅的各种沉积过程，并且能够以行业领先的沉积速率进行。NOVELLUS Concept III Speed Max是在用户心目中设计的。该平台在多种操作条件下易于配置、维护和操作。它具有全自动腔室、可调气流和压力以及运动学连杆装置，可实现高度精确和可重复的工艺参数。腔室还设有流式气体输送系统，有助于消除手动阀门维护。NOVELLUS Concept III Speed Max为用户提供了以高通量和高选择性同时存放多达五种不同材料的能力。该腔室还被设计为能够以高通量速率沉积均匀厚度的薄膜。此外，反应堆设有可调节的基板支架，可以调整以适应不同的晶圆尺寸，并包括一个可调节的反应区，为每种材料精确调谐，以确保腔室在峰值性能运行。NOVELLUS Concept III Speed Max是一个多功能平台,为各种应用程序提供高级CVD沉积。它具有一套性能和安全特性,使其成为薄膜沉积的最佳选择。反应堆还提供了业界最高的吞吐量之一，为用户提供了更快的周期时间，使他们能够更快地达到他们的工艺目标。此外,NOVELLUS Concept III Speed Max为用户提供了配置腔室的功能,以提供根据其特定应用程序要求定制的沉积配方和参数。总体而言,NOVELLUS Concept III Speed Max反应堆是一个高性能、通用且可配置的沉积平台,非常适合各种薄膜沉积应用。它提供了广泛的工艺功能,能够实现多种材料的高吞吐量和选择性。