二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9195754 待售
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NOVELLUS Concept 3 Speed Max是一种通常见于半导体铸造厂的反应堆,高度先进,能够在半导体元件的制造过程中产生极精确的工艺。Concept 3 Speed Max反应堆被设计为以高精度和精确度打造非常高质量的薄膜层。该反应堆的设计是非常有效地生产沉积层,利用聚氯乙烯工艺将一系列不同的材料,包括金属和化合物,沉积到基板上。它有一系列的腔室,可以根据所加工基板的大小和材料来使用,例如用于较小基板的小腔室或用于较大基板的大功率腔室。用NOVELLUS Concept 3 Speed Max反应堆制造薄膜的过程是通过一系列步骤实现的,通常从将气源,如气源引入沉积室开始。然后根据将要沉积的材料对这种气体进行加热和加压,然后将其送至沉积室的源室。在沉积室中,气态物质的分子与基质碰撞,导致物质沉积到表面。材料再由高功率的离子束加热,通常是电离的氙气束,有助于将粒子融合在一起,并提供一层均匀的不透明度。然后将底物暴露在紫外线光源下,进一步激活离子并完成沉积过程。Concept 3 Speed Max的高速允许极精确的层沉积,从而产生非常一致的薄膜层。反应堆在化学上也非常稳定,能够加工需要更复杂化学过程的材料。此外,该反应器采用激光图样和图像识别等先进技术,有助于沉积薄膜的精度。总体而言,NOVELLUS Concept 3 Speed Max是一种高度先进的反应器,对薄膜的沉积提供极好的控制。它能够以极高的精度和精确度获得非常一致的结果。Concept 3 Speed Max具有高效率和广泛的应用,是制造半导体元件的绝佳选择。
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