二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9235679 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed Max （C3S Max）是在半导体工业中用于化学气相沉积（CVD）处理的先进工具。这座反应堆设计为对具有出色均匀性的薄膜材料进行快速加工，并配备了多种不同的特性，有助于高效可靠地生产高质量的薄膜。C3S Max有多个核心元件，包括一个具有可旋转基板传输的底层、其主腔室、可旋转顶部电极以及控制器等其他元件。底层在顶部电极和底部电极之间传输基板，以形成薄膜。该腔室的设计效率很高，以便在生产过程中保持高吞吐量。它还包括薄膜沉积、退火、蚀刻、诊断、环境控制和配方控制等一系列特征。顶部电极是C3S Max设备的重要组成部分，负责提供创造薄膜所需的能量。电极被设计为可调节的，允许不同程度的功率和不同形状的沉积膜。这允许根据应用要求生产不同厚度和形状的薄膜。控制器是系统的命令中心，为操作员提供必要的工具来输入配方，查看流程结果，监控单元，并根据需要调整参数，以优化性能。控制器还允许操作员输入多个基板的配方，以便使机器自动化。总体而言，NOVELLUS C3S Max是生产高性能薄膜的先进工具。其各种组件的组合使操作员能够制作出具有出色可重复性和均匀性的胶片,同时实现高效和可靠的生产,同时减少停机时间。该工具的可调参数也使得快速准确地调整膜厚度和形状成为可能，使资产得以定制以满足特定的应用要求。