二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9281511 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed Max是下一代先进的等离子体反应堆，专为先进的半导体器件制造工艺而设计。利用先进技术提供高均匀性和高吞吐量能力，满足先进设备制造的严格要求。概念3 Speed Max利用低压等离子体沉积（LPD）技术的最新进展，提供高工艺产量和重复性。NOVELLUS Concept 3 Speed Max的先进设计和工程使沉积膜在整个基板上的均匀性得到改善。概念3 Speed Max利用可变电离源技术来控制沉积过程，允许更高程度的均匀性和更高效的过程。此外,NOVELLUS Concept 3 Speed Max还集成了高速等离子体发生器,可实现更高效的过程和更高的吞吐量。该设计还使设备能够精确扫描并根据不同的基板高度和表面拓扑进行调整,以最大程度地减少阴影。高速扫描仪允许在沉积阶段更快地扫描整个基板，增加吞吐量和均匀性。最终结果是提高了设备生产率。此外,概念3 Speed Max中的气体分配系统可确保对沉积过程的精确控制,在整个基板上提供均匀的表面特性。NOVELLUS Concept 3 Speed Max先进的现场监控能力进一步确保了精确的过程控制。先进的监控单元结合了一个带有集成显微镜的车载摄像头，在整个沉积过程中观察基板表面。此监视机器提供了详细的过程信息以及在制造阶段检测任何过程问题的能力,最大限度地减少了过程的可变性并优化了过程产量。Concept 3 Speed Max还采用了坚固的清洁和基板制备工艺以及自动晶圆夹持器技术,用于增强基板探头的放置。这种多站自适应机器人确保精确的探针放置，并确保一致的晶圆奇异。先进的工艺控制包括化学配方综合库和机载实时校正和评估减少底物对底物的变化。此外,先进的工艺控制可确保整个晶片的薄膜厚度均匀。NOVELLUS Concept 3 Speed Max是一个最先进的先进等离子体反应堆，旨在提高工艺产量和均匀性，同时提高吞吐量能力。该工具所使用的先进技术，包括可变电离源、高速等离子体发生器、先进的原位监控、先进的工艺控制和自动化的晶片夹持器技术，为先进的设备制造提供了最佳解决方桉。