二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9352258 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed Max反应堆是一种最先进的化学气相沉积（CVD）设备，用于将材料薄膜沉积到基板上。该系统设计用于以高速率和均匀性沉积电介质、金属和其他材料，允许生产高性能器件。该装置采用多用途多区源技术，改进了基板参数的均匀性和控制。机器由一个由三个阶段组成的单一、多合一平台组成。第一级是射频（RF）等离子体源，由等离子体放电源、多区RF电容耦合等离子体栅格和增强均匀性控制的多区磁体组成。第二级是CVD室，其中包含晶圆室加热头、沉积头和苯基采样器。晶圆室加热头用于加热晶圆，以确保材料的均匀沉积。沉积头包含工艺源，用于将材料以所需的速率引入腔室。苯基采样器用于测量反应物浓度和监测沉积过程。射频等离子体源、CVD腔和苯基采样器协同工作，为Concept 3 Speed Max提供优化的沉积性能。整个工具设计用于高输出率和高度均匀的薄膜沉积，允许特殊的过程可重复性和控制。此外,该资产还提供每晶圆不到一分钟的周期时间,使其成为满足各种生产需求的经济高效的解决方桉。NOVELLUS Concept 3 Speed Max是那些希望提高生产效率的人的绝佳选择。其RF等离子体源、CVD腔、苯基采样器的组合，提供了一个强大的平台，通过薄膜的优越和受控沉积来实现高性能的器件。模型的循环时间、可控性、重复性和均匀性使其成为任何薄膜沉积情况下的理想解决方桉。