二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9389741 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed Max是一款创新的设备，用于制造由薄膜材料组成的集成电路。该反应堆设计为在极薄层的金属氧化物半导体（MOS）电路层中提供最高的性能和可靠性，用于超低泄漏、嵌入式内存和其他高性能组件等应用。Concept 3 Speed Max有三个独立的模块，可以独立或组合运行。这三个模组分别是一个RIE（Reactive Ion Etch）模组、一个CVD（Chemical Vapor Deposition）模组和一个PECVD（Plasma Enhanced CVD）模组。RIE模块用于以所需的形状和图样蚀刻金属氧化物层,以创建用于制造电路的特定薄膜特征。CVD模块用于将各种类型的薄膜材料层层沉积，以创建光滑的表面，说明图桉，并控制材料的厚度。PECVD模块用于薄膜材料的快速蚀刻和沉积，以及用于图样制作。NOVELLUS Concept 3 Speed Max具有先进的流程控制和监控系统,使用户能够优化其流程参数,实现更好的可重复性,并减少流程开发所需的时间。它还有一个射频（RF）等离子体发生器，允许用户同时处理各级层间电介质（ILD）。等离子体发生器提高了蚀刻和沉积过程的速度和精度。Concept 3 Speed Max是唯一能够提供超低泄漏性能和最大薄膜层的设备。它非常适合生产高性能电路，在生产过程中具有2西格玛的重复性。由优质材料制成，寿命长。其能源和资源得到最佳管理，以尽量减少其运作对环境的影响。NOVELLUS Concept 3 Speed Max是MOS电路层生产中唯一能将蚀刻沉积过程与超低泄漏性能相结合的蚀刻沉积系统。它为高性能组件的生产提供了高质量的性能和可靠性以及节省成本的优势。利用先进的工艺控制和监测系统，用户可以最大限度地提高这一创新反应堆的效率，同时最大限度地减少其环境足迹。