二手 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9410799 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed Max是一种先进的化学气相沉积反应器，用于半导体制造。它旨在提供高性能和高吞吐量，以支持最先进的半导体技术。反应堆利用独特的两级多频条带设备，提供高水平的基板加热均匀性，改善等离子体均匀性，增强工艺重复性。Concept 3 Speed Max具有模块化体系结构,允许将其配置为各种晶圆尺寸和工艺要求。反应堆能够维持各种气体流动、温度和压力，从而对沉积过程进行最佳控制。此外,该系统还配备了实时温度补偿,以确保均匀的间隙填充和密度控制,以及自动晶圆传输技术,可减少交叉污染并改善装卸时间。NOVELLUS Concept 3 Speed Max具有全自动的端点检测单元，提供更快的周期时间，同时增强可重复性。反应堆还有一个数据采集机，允许实时数据分析和过程优化。该工具还利用热减震资产来改善前表面均匀性和防止热点。这有助于减少应力引起的缺陷，提高设备的长期可靠性。所有这些特性使Concept 3 Speed Max成为最先进的反应堆之一。反应堆提供了无与伦比的性能和可重复性水平，这使得生产速度更快，产量更高，可靠性更好。此外,它还设计为完全可扩展且可根据每个用户的需要进行配置。NOVELLUS Concept 3 Speed Max是一款功能强大的沉积解决方桉,可帮助任何寻求高质量、高性能结果的半导体制造商。