二手 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9235680 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT是专门为先进半导体应用而设计的化学气相沉积（CVD）设备。它为多晶硅、氧化硅等应用提供了终极的高通量解决方桉。Concept 3 Speed NEXT反应堆集成了NOVELLUS最新的先进技术，包括获得专利的刀片卡带交付、机器人自动化以及多个温度区功能。其创新设计确保了卓越的制造质量和成本效益。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT包含低压三速室、预热室和带4向阀的气箱。低压室配有高品质的加热冷却元件、超低热漂移、低压控制。金属衬里端口允许快速基板装卸。预热室提供额外的温度控制，以确保最高的沉积速率。该系统通过多区加热/冷却卡盘和加热/冷却墙壁提供精确的温度控制。它旨在提供对薄膜厚度、晶粒尺寸和工艺均匀性的精确控制。它还提供低压输送前体气体，包括硅烷、六氟化硫和氦气。位于机组中心的4向阀允许快速准确的前体输送和快速的反应时间。Concept 3 Speed NEXT还配备了一系列高级数据系统,旨在实现最大吞吐量。其快速可靠的机械臂确保晶片快速高效的定位。它的高度自动化使得食谱的快速和容易编程能够在毫秒内进行沉淀。总体而言，NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT是一款极其先进的反应堆机器，旨在满足最先进的半导体应用的需求。它提供了无与伦比的精度、速度和工艺一致性,使其成为当今制造商的理想选择。