二手 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9390429 待售

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT反应器是为电影沉积应用而设计的先进、高通量沉积系统。它具有模块化和可扩展的体系结构,允许从单晶片到全晶片沉积的各种配置,这些配置可以针对广泛的客户流程需求进行定制。该系统的设计具有出色的膜性能均匀性,包括厚度均匀性和可重复性,并在所有基材类型中提供层对层和晶片对晶片的一致性。Concept 3 Speed NEXT具有业界领先的高通量过程室,能够提供比传统系统高四倍的速度和容量提升。它利用垂直提升工艺室以及顶置增强晶圆几何模块，这两者都能够在高沉积速率下实现均匀的薄膜性能。获得专利的动态活动控制（DAC）技术进一步提高了所有晶圆尺寸的速度和均匀性。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT的人性化高级平台提供了一个总是最新的直观界面，便于配置和控制反应堆。Concept 3 Speed NEXT也是一个安全平台,能够在严格的网络安全协议下运行,为以后的系统更新提供对更多客户和流程数据的访问。总体而言，NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT是高通量沉积应用的理想反应器，需要卓越的薄膜均匀性和可重复性。它结合了高效的垂直工艺室、增强的晶圆几何形状、加速的速度和安全的数据分析,以提供业界最高的性能和吞吐量。