二手 NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT #9096022 待售

NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT是一种先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器。它是为多晶硅、SiO2、a-Si： H、Poly-SiGe、Poly-SiON、氮化硅等多种材料的薄膜沉积而设计的。它非常适合包括内存、平板显示器和多层堆栈在内的应用。CONCEPT 3 Speed XT配备了大功率电子回旋共振（ECR）源，用于提高性能和提高沉积薄膜的质量。该光源最多使用四个微波频率，以提高特定工艺的临界温度，从而提高薄膜的质量，并消除了在工艺之间进行额外光源洗涤的需要。NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT也以16站晶片处理设备构筑，每次运行最多可容纳120个晶片。该系统专为晶片的高效、精确的装卸而设计，能够容纳最大的晶片尺寸。它还采用统一的温度控制单元，以保持整个运行过程中的最佳沉积温度。CONCEPT 3 Speed XT还配备了先进的离子辅助沉积（IAD）机。该工具能够精确控制胶片中的掺杂剂，以满足每种应用的确切规格，而无需额外的外部掺杂剂来源。IAD资产还有助于减少颗粒污染,并有助于确保过程的可重复性。最后，NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT具有石墨热壁室，有助于提高底物温度均匀性，减少不需要的膜侵蚀。该腔室还能够控制O2流量，以便于氮化硅和其他复杂堆栈的沉积。CONCEPT 3 Speed XT的所有功能都使其能够在最复杂、最具挑战性的沉积环境中提供卓越的胶片质量和高通量。它是一个理想的平台，用于沉积最新的内存、显示和多层堆栈，用于广泛的应用。